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微光顯微鏡

微光顯微鏡

產品詳情

  微光顯微鏡是一種非常有用和高效的分析工具。主要檢測IC中釋放的光子。

亮點檢測不到:

無亮點故障-歐姆接觸;金屬互聯短路;表面反形層;硅導電路等。

亮點被屏蔽-buriedJunctions和leakagesundermetal,backside模式可以使用,但只能檢測到近紅外波段的發光,需要減薄拋光。

OBIRCH(光束誘導電阻變化)

光誘導電阻變化(OBIRCH)模式可以快速準確地短路IC中的元件、接線和通孔互聯網中的空洞、金屬中的硅沉積等缺陷。其工作原理是用激光束掃描恒定電壓下的設備表面,將激光束的部分能量轉化為熱能。如果金屬互聯網有缺陷,缺陷處的溫度不會通過金屬線快速傳遞,導致缺陷處的溫度積累和升高,進一步導致金屬線的電阻和電流變化。OBIRCH模式分辨率高,測試精度可達na級。

光束誘導電阻變化(OBIRCH)功能和光發射(EMMI)通常集成在一個檢測系統中,稱為PEM,兩者相輔相成,可以很好地絕大多數故障模式。

  以上就是小編為大家介紹的微光顯微鏡,感謝大家耐心的閱讀!

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